| Κωδικός# | 522-280G |
|---|---|
| Ταξιδεύσεις στον άξονα X/Y | (300*200) mm |
| Ταξίδι στον άξονα Ζ | 200 χιλιοστά |
| Σκηνογραφία γραμμικής κλίμακας άξονας X/Y/Z | 0.1um |
| Ακριβότητα στον άξονα XY | ≤1,8+L/200 (μμ) |
| Κωδικός# | 522-420G |
|---|---|
| Ταξιδεύσεις στον άξονα X/Y | (300*200) mm |
| Ταξίδι στον άξονα Ζ | 200 χιλιοστά |
| Σκηνογραφία γραμμικής κλίμακας άξονας X/Y/Z | 0.5um |
| Ακριβότητα στον άξονα XY | ≤ 2,0+L/200 (μμ) |
| Κωδικός# | 524-220H |
|---|---|
| Ταξιδεύσεις στον άξονα X/Y | (400*300)mm |
| Ταξίδι στον άξονα Ζ | 200 χιλιοστά |
| Χ/Υ/Ζ 3 άξονας γραμμική κλίμακα ((mm) | Ανάλυση: 0,5 μm |
| Επαναληψιμότητα | 2um |
| Κωδικός# | 524-220H |
|---|---|
| Ταξιδεύσεις στον άξονα X/Y | (400*300)mm |
| Ταξίδι στον άξονα Ζ | 200 χιλιοστά |
| Χ/Υ/Ζ 3 άξονας γραμμική κλίμακα ((mm) | Ανάλυση: 0,5 μm |
| Επαναληψιμότητα | 2um |
