| Κώδικας# | 512-400 |
|---|---|
| Μέγεθος του σταδίου εργασίας | 455x126 χιλιοστά |
| Ταξίδια σταδίου εργασίας | 300x150 χιλιοστά |
| Επίκεντρο | 120 χλστ |
| Ακρίβεια | ≤3+L/200 (um) |
| Κώδικας# | 512-400 |
|---|---|
| Μέγεθος του σταδίου εργασίας | 455x126 χιλιοστά |
| Ταξίδια σταδίου εργασίας | 300x150 χιλιοστά |
| Επίκεντρο | 120 χλστ |
| Ακρίβεια | ≤3+L/200 (um) |
| Κώδικας# | 542-310 |
|---|---|
| Ταξίδια σταδίου εργασίας | 355x125mm |
| X/Y άξονα ταξίδια | 200x120mm |
| Άξονας Z | 110 χλστ |
| Ακρίβεια μέτρησης | ≤3+l/200um |
| Κώδικας# | 511-410 |
|---|---|
| Μέγεθος μεταλλικής σκηνής | 308x408 χιλιοστά |
| Μέγεθος Γυάλινης Σκηνής | 198x306 χιλιοστά |
| Πεδίο ταξιδιού σταδίου | 200x100mm |
| Διάσταση προϊόντος | 1003x617x1309 χιλιοστά |
| Κώδικας# | 525-020P |
|---|---|
| Γρανίτη | (310*220) mm |
| Στάδιο γυαλιού | (179.5*129.5) mm |
| X/Y Axis Travel | (150*100) mm |
| Γραμμικές κλίμακες X/Y | Ανάλυση: 0.5um |
| Κώδικας# | 511-330 |
|---|---|
| Μέγεθος μεταλλικής σκηνής | 258x308 χιλιοστά |
| Μέγεθος Γυάλινης Σκηνής | 148x206 χιλιοστά |
| Πεδίο ταξιδιού σταδίου | 150x100 χιλιοστά |
| Διάσταση προϊόντος | 988x563x1157 χιλιοστά |
| Κώδικας# | 510 έως 340 |
|---|---|
| Μέγεθος οθόνης LCD | 115 χιλιοστά × 85 χιλιοστά |
| Ανάλυση οθόνης LCD | 640*480 |
| Άξονας επίδειξης | 3 άξονες (X,Y,Z/Q) |
| Ανάλυση γραμμικής κλίμακας | 0.1 μm,0.2 μm,0.5μ, 1μ, 2μ, 5μ. |
| Κώδικας# | 525-020gp |
|---|---|
| Γρανίτη | (505*350) mm |
| Στάδιο γυαλιού | (356*248) mm |
| X/Y Axis Travel | (300*200) mm |
| Γραμμικές κλίμακες | Ανάλυση: 0.5um |
| Κώδικας# | 525-020EP |
|---|---|
| Γρανίτη | (390*220) mm |
| Στάδιο γυαλιού | (229.5*129.5) mm |
| X/Y Axis Travel | (200*100) mm |
| Γραμμικές κλίμακες | Ανάλυση: 0.5um |
| Κώδικας# | 542-310 |
|---|---|
| Ταξίδια σταδίου εργασίας | 355x125mm |
| X/Y άξονα ταξίδια | 200x120mm |
| Άξονας Z | 110 χλστ |
| Ακρίβεια μέτρησης | ≤3+l/200um |