| Κωδικός# | 512-400 |
|---|---|
| Μέγεθος του σταδίου εργασίας | 455x126 χιλιοστά |
| Ταξίδια για το στάδιο εργασίας | 300x150 χιλιοστά |
| Επικεντρώσου | 120 χιλιοστά |
| Ακρίβεια | ≤3+L/200 (um) |
| Κωδικός# | 512-400 |
|---|---|
| Μέγεθος του σταδίου εργασίας | 455x126 χιλιοστά |
| Ταξίδια για το στάδιο εργασίας | 300x150 χιλιοστά |
| Επικεντρώσου | 120 χιλιοστά |
| Ακρίβεια | ≤3+L/200 (um) |
| Code# | 542-310 |
|---|---|
| Working Stage Travel | 355x125mm |
| X/Y-axis Travel | 200x120mm |
| Z axis | 110mm |
| Measurement Accuracy | ≤3+L/200um |
| Κωδικός# | 511-410 |
|---|---|
| Μέγεθος μεταλλικής σκηνής | 308x408 χιλιοστά |
| Μέγεθος Γυάλινης Σκηνής | 198x306 χιλιοστά |
| Πεδίο ταξιδιού σταδίου | 200x100mm |
| Διάσταση προϊόντος | 1003x617x1309 χιλιοστά |
| Κωδικός# | 525-020P |
|---|---|
| Στάδιο από γρανίτη | (310*220) mm |
| Στάδιο γυαλιού | (179,5*129,5) χιλιοστά |
| Διαδρομή άξονα Χ/Υ | (150*100) mm |
| Γραμμικές κλίμακες X/Y | Ανάλυση: 0,5 μm |
| Κωδικός# | 511-330 |
|---|---|
| Μέγεθος μεταλλικής σκηνής | 258x308 χιλιοστά |
| Μέγεθος Γυάλινης Σκηνής | 148x206 χιλιοστά |
| Πεδίο ταξιδιού σταδίου | 150x100 χιλιοστά |
| Διάσταση προϊόντος | 988x563x1157 χιλιοστά |
| Κωδικός# | 510 έως 340 |
|---|---|
| Μέγεθος οθόνης LCD | 115 χιλιοστά × 85 χιλιοστά |
| Ανάλυση οθόνης LCD | 640*480 |
| Άξονας επίδειξης | 3 άξονες (X,Y,Z/Q) |
| Λεπτομετρική ανάλυση | 0.1 μm,0.2 μm,0.5μ, 1μ, 2μ, 5μ. |
| Code# | 525-020GP |
|---|---|
| Granite Stage | (505*350)mm |
| Glass Stage | (356*248)mm |
| X/Y Axis Travel | (300*200)mm |
| Linear Scales | Resolution: 0.5um |
| Code# | 525-020EP |
|---|---|
| Granite Stage | (390*220)mm |
| Glass Stage | (229.5*129.5)mm |
| X/Y Axis Travel | (200*100)mm |
| Linear Scales | Resolution: 0.5um |
| Code# | 542-310 |
|---|---|
| Working Stage Travel | 355x125mm |
| X/Y-axis Travel | 200x120mm |
| Z axis | 110mm |
| Measurement Accuracy | ≤3+L/200um |