Μηχανή δοκιμών επίστρωσης σχισμής ακριβείας ST-5000G
ΠροϊόνΕισαγωγή:Κύρια διαμόρφωση:
Προδιαγραφές και Σύνθεση Εξοπλισμού:
Εφαρμόσιμα υποστρώματα:
(1)
| Μέθοδος σχηματισμού φιλμ | 500mm*500mm | (2) |
| ιξώδες | <10u | (3) |
| Ομοιογένεια σχηματισμού φιλμ | <15° | (4) |
| Θερμοκρασία υποστρώματος | 23±2℃ | Εφαρμόσιμα υγρά: |
(1)
| Μέθοδος σχηματισμού φιλμ | Ισοπροπανόλη, DMF, DMSO και άλλα οργανικά διαλυτικά ή άλλα μικτά διαλυτικά | (2) |
| ιξώδες | 300nm~10um(Ξηρό φιλμ) | (3) |
| Ομοιογένεια σχηματισμού φιλμ | 7%~50% | Απόδοση διεργασίας εξοπλισμού: |
(1)
| Μέθοδος σχηματισμού φιλμ | Επίστρωση σχισμής | (2) |
| ιξώδες | 300nm~10um(Ξηρό φιλμ) | (3) |
| Ομοιογένεια σχηματισμού φιλμ | 5% ≤ εντός φιλμ, 5% ≤ μεταξύ φιλμ | Μήτρα επίστρωσης |
:Κύρια διαμόρφωση:
| Όνομα | Τεχνικές παράμετροι | Σημείωση | 1 |
| Διακόπτης έκτακτης ανάγκης | Γρανίτης βαθμού 000 | 2 | |
| Διασταυρώσεις ασφαλείας | 450mm | 3 | |
| Συναγερμός ήχου και φωτός | ≤3um | 4 | |
| Καθαρό κάλυμμα | Ra≤0.025 | 5 | |
| Αερισμός και εξάτμιση | Τύπος φλάντζας, ομοιομορφία πάχους φλάντζας ≤±2um | 6 | |
| άλλο | ≤±10um | 7 | |
| Ρελέ | ≤10mm | 8 | |
| Διακόπτης αέρα | Είναι 20um χαμηλότερο από το χείλος, το οποίο αποτρέπει αποτελεσματικά τη σύγκρουση του χείλους | 9 | |
| Ακρίβεια επιφάνειας κίνησης άξονα Υ | Διορθώνεται αυτόματα από έναν αισθητήρα γραμμικής μετατόπισης υψηλής ακρίβειας | 10 | |
| Επαναληψιμότητα άξονα Υ | Ο θάλαμος μήτρας είναι υψηλού επιπέδου και έχει υψηλό επίπεδο οπών φυσαλίδων | Αντλίες επίστρωσης: |
Αριθμός
| Όνομα | Τεχνικές παράμετροι | Σημείωση | 1 |
| Διακόπτης έκτακτης ανάγκης | SUS316L | 2 | |
| Διασταυρώσεις ασφαλείας | Σφραγίδες ανθεκτικές στη διάβρωση | 3 | |
| Συναγερμός ήχου και φωτός | 5ml | 4 | |
| Καθαρό κάλυμμα | Σερβοκινητήρας, βίδα σφαιρών | 5 | |
| Αερισμός και εξάτμιση | 0.01ul/s | 6 | |
| άλλο | 0.01s | 7 | |
| Ρελέ | 0~2000ul/s | 8 | |
| Διακόπτης αέρα | 2000ul/s² | 9 | |
| Ακρίβεια επιφάνειας κίνησης άξονα Υ | 1)Η επιτάχυνση και η επιβράδυνση της επίστρωσης μπορούν να ρυθμιστούν και να προσαρμοστούν; |
2)Λειτουργία καθυστέρησης εκκένωσης υγρού; 3)Λειτουργία τερματικής αναρρόφησης; 4)Λειτουργία αυτόματης ενυδάτωσης; 5)Ρύθμιση επίστρωσης πολλαπλών σταδίων; Στοιχεία κίνησης: |
|
| Όνομα | Τεχνικές παράμετροι | Σημείωση |
| Διακόπτης έκτακτης ανάγκης | 2个 | 2 |
| Διασταυρώσεις ασφαλείας | 0.1um | 3 |
| Συναγερμός ήχου και φωτός | Σερβοκινητήρας, βίδα βαθμού λείανσης, ράγα οδηγού | 8 |
| Καθαρό κάλυμμα | ≤5um | 11 |
| Αερισμός και εξάτμιση | 0~50mm/s | 6 |
| άλλο | Οδηγούμενη πλατφόρμα | 7 |
| Ρελέ | Σερβοκινητήρας, βίδα βαθμού λείανσης, ράγα οδηγού | 8 |
| Διακόπτης αέρα | 0~200mm/s | 9 |
| Ακρίβεια επιφάνειας κίνησης άξονα Υ | Καλύτερη από ±5um | 10 |
| Επαναληψιμότητα άξονα Υ | ≤5um | 11 |
| Λειτουργική διαμόρφωση | 1)Η επιτάχυνση και η επιβράδυνση της επίστρωσης μπορούν να ρυθμιστούν και να προσαρμοστούν; |
2)Ρυθμιζόμενο κενό επίστρωσης; 3) Ρυθμιζόμενο κενό της οπισθοδρόμησης; Πλατφόρμα επίστρωσης: |
Αριθμός
| Όνομα | Τεχνικές παράμετροι | Σημείωση | 1 |
| Διακόπτης έκτακτης ανάγκης | Γρανίτης βαθμού 000 | 2 | |
| Διασταυρώσεις ασφαλείας | 500*500mm | 3 | |
| Συναγερμός ήχου και φωτός | Επίπεδο≤±5um | 4 | |
| Καθαρό κάλυμμα | Απορρόφηση κενού πλατφόρμας | 5 | |
| Αερισμός και εξάτμιση | Εγχειρίδιο | 3 | |
| άλλο | Εγχειρίδιο | 3 |
Αριθμός
| Όνομα | Τεχνικές παράμετροι | Σημείωση | 1 |
| Διακόπτης έκτακτης ανάγκης | PFA | 2 | |
| Διασταυρώσεις ασφαλείας | Ξεφλουδισμένο υλικό, όγκος 100ml | 3 | |
| Συναγερμός ήχου και φωτός | Η δεξαμενή είναι υπό πίεση | 4 | |
| Καθαρό κάλυμμα | Κατασκευασμένο από ανοξείδωτο χάλυβα | Μονάδα καθαρισμού προ-επίστρωσης: |
Αριθμός
| Όνομα | Τεχνικές παράμετροι | Σημείωση | 1 |
| Διακόπτης έκτακτης ανάγκης | Πλατφόρμα προ-επίστρωσης | 2 | |
| Διασταυρώσεις ασφαλείας | Εγχειρίδιο | 3 | |
| Συναγερμός ήχου και φωτός | Χρησιμοποιείται όταν ο εξοπλισμός είναι αδρανής, ο αγωγός είναι καθαρός και τα απόβλητα απορρίπτονται | Διεπαφή ανθρώπου-υπολογιστή: |
|
Όνομα |
Τεχνικές παράμετροι | Σημείωση | 1 |
| Διακόπτης έκτακτης ανάγκης | Πλατφόρμα προ-επίστρωσης | 2 | |
| Διασταυρώσεις ασφαλείας | Η διαδικασία επίστρωσης κάθε υποστρώματος μπορεί να προβληθεί, συμπεριλαμβανομένων των παραμέτρων ταχύτητας και θέσης κάθε άξονα του επικαλυπτικού σε κάθε χρονικό σημείο στη διαδικασία επίστρωσης | 3 | |
| Συναγερμός ήχου και φωτός | Τρεις τύποι δικαιωμάτων λειτουργίας για σύνδεση. |
Χειροκίνητες, ημιαυτόματες και αυτόματες ενέργειες της συσκευής μπορούν να λειτουργήσουν στη διεπαφή Κάλυμμα σκόνης |
| Όνομα | Τεχνικές παράμετροι | Σημείωση | 1 |
| Διακόπτης έκτακτης ανάγκης | Κράμα, Πλάκα διάτρησης, FFU, Λωρίδα στεγανοποίησης | 2 | |
| Διασταυρώσεις ασφαλείας | Διαφανές μπορεί να παρατηρήσει την κατάσταση επίστρωσης σε πραγματικό χρόνο. Το FFU καθαρίζει τη μικροθετική πίεση διασφαλίζει ότι το εξωτερικό περιβάλλον είναι καλύτερο από αυτό της κατηγορίας 1.000 στο εξωτερικό περιβάλλον | 3 | |
| Συναγερμός ήχου και φωτός | Το εξωτερικό κάλυμμα είναι δεσμευμένο με οργανικές θύρες εξάτμισης και το μέγεθος της διεπαφής είναι DN80 | Διαμόρφωση |
το λίστα ελέγχου :Κύρια διαμόρφωση:
Αριθμός
| Όνομα | Μάρκα | Η τοποθεσία της μάρκας | 1 |
| Διακόπτης έκτακτης ανάγκης | Siemens | Γερμανία | 2 |
| Διασταυρώσεις ασφαλείας | Panasonic | Κίνα | 4 |
| Συναγερμός ήχου και φωτός | INVT | Κίνα | 4 |
| Καθαρό κάλυμμα | Τονικότητα Kunlun | Ιαπωνία | 5 |
| Αερισμός και εξάτμιση | NSK / FAG | Ιαπωνία/Γερμανία | 6 |
| άλλο | Schneider/CHINT | Γαλλία/Κίνα | Διαμόρφωση ασφάλειας συσκευής: |
| Ρελέ | Schneider | Γαλλία | 8 |
| Διακόπτης αέρα | Schneider/CHINT | Γαλλία/Κίνα | Διαμόρφωση ασφάλειας συσκευής: |
1
| Διακόπτης έκτακτης ανάγκης | Το καθαρό κάλυμμα, η διεπαφή λειτουργίας, το ηλεκτρικό κουτί ελέγχου και άλλες θέσεις είναι εξοπλισμένα με διακόπτες EMO και πολλά σημεία μπορούν να σταματήσουν γρήγορα σε περίπτωση έκτακτης ανάγκης | 2 |
| Διασταυρώσεις ασφαλείας | Η πηγή κινδύνων μηχανημάτων χρησιμοποιεί μια συσκευή διασύνδεσης υλικού ασφαλείας, η οποία σταματά την εργασία μονάδων που μπορεί να προκαλέσουν τραυματισμούς όταν ανοίγει το προστατευτικό κάλυμμα του εξοπλισμού. | 3 |
| Συναγερμός ήχου και φωτός | Ο εξοπλισμός είναι εγκατεστημένος με μια συσκευή ηχητικού και οπτικού συναγερμού σε μια εμφανή ή καθορισμένη από τον πελάτη θέση | 4 |
| Καθαρό κάλυμμα | Ο εξοπλισμός απομονώνεται από ένα εξωτερικό κάλυμμα και το κάλυμμα σκόνης διατηρείται μακριά από το εξωτερικό περιβάλλον, ενώ εμποδίζει την είσοδο προσωπικού κατά τη λειτουργία | 5 |
| Αερισμός και εξάτμιση | Η επίστρωση οργανικών πτητικών αερίων έχει σχεδιαστεί με σύνδεση εξάτμισης | 6 |
| άλλο | Ο σχεδιασμός του εξοπλισμού για τη χρήση νερού, ηλεκτρικού ρεύματος και χημικών πληροί τα εθνικά πρότυπα ασφαλείας |