| Κωδικός# | 525-380K |
|---|---|
| Ταξιδεύσεις στον άξονα X/Y | (500*500) χιλιοστά |
| Ταξίδι στον άξονα Ζ | 300 χιλιοστά |
| Σκηνογραφία γραμμικής κλίμακας άξονας X/Y/Z | Ανάλυση: 0,1 μm |
| Τρόπος καθοδήγησης | Σιδηροτροχιά γραμμικής καθοδήγησης ακριβείας |
| Κωδικός# | 523-280N |
|---|---|
| Ταξιδεύσεις στον άξονα X/Y | (1200*1000) mm |
| Ταξίδι στον άξονα Ζ | 200 χιλιοστά |
| Σκηνογραφία γραμμικής κλίμακας άξονας X/Y/Z | Ανάλυση: 0,1 μm |
| Ακριβότητα στον άξονα XY | ≤2,5+L/200 (μμ) |
