| Κωδικός# | 524-220H |
|---|---|
| Ταξιδεύσεις στον άξονα X/Y | (400*300)mm |
| Ταξίδι στον άξονα Ζ | 200 χιλιοστά |
| Χ/Υ/Ζ 3 άξονας γραμμική κλίμακα ((mm) | Ανάλυση: 0,5 μm |
| Επαναληψιμότητα | 2um |
| Κωδικός# | 524-220H |
|---|---|
| Ταξιδεύσεις στον άξονα X/Y | (400*300)mm |
| Ταξίδι στον άξονα Ζ | 200 χιλιοστά |
| Χ/Υ/Ζ 3 άξονας γραμμική κλίμακα ((mm) | Ανάλυση: 0,5 μm |
| Επαναληψιμότητα | 2um |
| Κωδικός# | 523-180M |
|---|---|
| Ταξιδεύσεις στον άξονα X/Y | (1000*800) mm |
| Ταξίδι στον άξονα Ζ | 200 χιλιοστά |
| Σκηνογραφία γραμμικής κλίμακας άξονας X/Y/Z | Ανάλυση: 0,1 μm |
| Ακριβότητα στον άξονα XY | ≤ 2,0+L/200 (μμ) |
| Κωδικός# | 523-180M |
|---|---|
| Ταξιδεύσεις στον άξονα X/Y | (1500*1200) mm |
| Ταξίδι στον άξονα Ζ | 200 χιλιοστά |
| Σκηνογραφία γραμμικής κλίμακας άξονας X/Y/Z | Ανάλυση: 0,1 μm |
| Ακριβότητα στον άξονα XY | ≤ 3,0+L/200 (μμ) |
| Κωδικός# | 523-280N |
|---|---|
| Ταξιδεύσεις στον άξονα X/Y | (1200*1000) mm |
| Ταξίδι στον άξονα Ζ | 200 χιλιοστά |
| Σκηνογραφία γραμμικής κλίμακας άξονας X/Y/Z | Ανάλυση: 0,1 μm |
| Ακριβότητα στον άξονα XY | ≤2,5+L/200 (μμ) |
