| Κώδικας# | 542-310 |
|---|---|
| Ταξίδια σταδίου εργασίας | 355x125mm |
| X/Y άξονα ταξίδια | 200x120mm |
| Άξονας Z | 110 χλστ |
| Ακρίβεια μέτρησης | ≤3+l/200um |
| Κώδικας# | 542-310 |
|---|---|
| Ταξίδια σταδίου εργασίας | 355x125mm |
| X/Y άξονα ταξίδια | 200x120mm |
| Άξονας Z | 110 χλστ |
| Ακρίβεια μέτρησης | ≤3+l/200um |
| Κώδικας# | 521-420J |
|---|---|
| Εργατικό πάγκο μαρμάρου | (650*580) mm |
| Εργατικό πάγκο γυαλιού | (540*440) χιλιοστά |
| Ταξιδεύσεις στον άξονα X/Y | (500*400) χιλιοστά |
| Ταξίδι στον άξονα Ζ | Αποτελεσματική διαδρομή 200 mm |
| Κώδικας# | 523-180M |
|---|---|
| Ταξιδεύσεις στον άξονα X/Y | (1500*1200) mm |
| Ταξίδι στον άξονα Ζ | 200 χλστ |
| Σκηνογραφία γραμμικής κλίμακας άξονας X/Y/Z | Ανάλυση: 0,1 μm |
| Ακριβότητα στον άξονα XY | ≤ 3,0+L/200 (μμ) |
| Κώδικας# | 528-180Χ |
|---|---|
| Ταξιδεύσεις στον άξονα X/Y | (300*400) mm |
| Ταξίδι στον άξονα Ζ | 200 χλστ |
| Σκηνογραφία γραμμικής κλίμακας άξονας X/Y/Z | Ανάλυση: 0.1mm |
| Ακριβότητα στον άξονα XY | ≤1,2+L/200 (μμ) |
| Κώδικας# | 542-310 |
|---|---|
| Ταξίδια σταδίου εργασίας | 355x125mm |
| X/Y άξονα ταξίδια | 200x120mm |
| Άξονας Z | 110 χλστ |
| Ακρίβεια μέτρησης | ≤3+l/200um |
| Κώδικας# | 542-310 |
|---|---|
| Ταξίδια σταδίου εργασίας | 355x125mm |
| X/Y άξονα ταξίδια | 200x120mm |
| Άξονας Z | 110 χλστ |
| Ακρίβεια μέτρησης | ≤3+l/200um |
| Κώδικας# | 525-020DP |
|---|---|
| Γρανίτη | (310*220) mm |
| Στάδιο γυαλιού | (179.5*129.5) mm |
| X/Y Axis Travel | (150*100) mm |
| Γραμμικές κλίμακες | Ανάλυση: 0.5um |
| Κώδικας# | 525-020P |
|---|---|
| Γρανίτη | (310*220) mm |
| Στάδιο γυαλιού | (179.5*129.5) mm |
| X/Y Axis Travel | (150*100) mm |
| Γραμμικές κλίμακες X/Y | Ανάλυση: 0.5um |
| Κώδικας# | 525-020EP |
|---|---|
| Γρανίτη | (390*220) mm |
| Στάδιο γυαλιού | (229.5*129.5) mm |
| X/Y Axis Travel | (200*100) mm |
| Γραμμικές κλίμακες | Ανάλυση: 0.5um |