| Κώδικας# | 525-020DP |
|---|---|
| Γρανίτη | (310*220) mm |
| Στάδιο γυαλιού | (179.5*129.5) mm |
| X/Y Axis Travel | (150*100) mm |
| Γραμμικές κλίμακες | Ανάλυση: 0.5um |
| Κώδικας# | 525-020P |
|---|---|
| Γρανίτη | (310*220) mm |
| Στάδιο γυαλιού | (179.5*129.5) mm |
| X/Y Axis Travel | (150*100) mm |
| Γραμμικές κλίμακες X/Y | Ανάλυση: 0.5um |
| Κώδικας# | 512-350 |
|---|---|
| Μέγεθος του σταδίου εργασίας | 355x126 χιλιοστά |
| Ταξίδια σταδίου εργασίας | 200x100mm |
| Επίκεντρο | 90 χλστ |
| Ακρίβεια | ≤3+L/200 (um) |
| Κώδικας# | 542-310 |
|---|---|
| Ταξίδια σταδίου εργασίας | 355x125mm |
| X/Y άξονα ταξίδια | 200x120mm |
| Άξονας Z | 110 χλστ |
| Ακρίβεια μέτρησης | ≤3+l/200um |
| Κώδικας# | 542-310 |
|---|---|
| Ταξίδια σταδίου εργασίας | 355x125mm |
| X/Y άξονα ταξίδια | 200x120mm |
| Άξονας Z | 110 χλστ |
| Ακρίβεια μέτρησης | ≤3+l/200um |