| Code# | 525-020DP |
|---|---|
| Granite Stage | (310*220) mm |
| Glass Stage | (179.5*129.5) mm |
| X/Y Axis Travel | (150*100) mm |
| Linear Scales | Resolution: 0.5um |
| Κωδικός# | 525-020P |
|---|---|
| Στάδιο από γρανίτη | (310*220) mm |
| Στάδιο γυαλιού | (179,5*129,5) χιλιοστά |
| Διαδρομή άξονα Χ/Υ | (150*100) mm |
| Γραμμικές κλίμακες X/Y | Ανάλυση: 0,5 μm |
| Κωδικός# | 512-350 |
|---|---|
| Μέγεθος του σταδίου εργασίας | 355x126 χιλιοστά |
| Ταξίδια για το στάδιο εργασίας | 200x100mm |
| Επικεντρώσου | 90 χιλιοστά |
| Ακριβότητα | ≤3+L/200 (um) |
| Code# | 542-310 |
|---|---|
| Working Stage Travel | 355x125mm |
| X/Y-axis Travel | 200x120mm |
| Z axis | 110mm |
| Measurement Accuracy | ≤3+L/200um |
| Code# | 542-310 |
|---|---|
| Working Stage Travel | 355x125mm |
| X/Y-axis Travel | 200x120mm |
| Z axis | 110mm |
| Measurement Accuracy | ≤3+L/200um |