| Κωδικός# | 525-020P |
|---|---|
| Στάδιο από γρανίτη | (310*220) mm |
| Στάδιο γυαλιού | (179,5*129,5) χιλιοστά |
| Διαδρομή άξονα Χ/Υ | (150*100) mm |
| Γραμμικές κλίμακες X/Y | Ανάλυση: 0,5 μm |
| Κωδικός# | 525-020P |
|---|---|
| Στάδιο από γρανίτη | (310*220) mm |
| Στάδιο γυαλιού | (179,5*129,5) χιλιοστά |
| Διαδρομή άξονα Χ/Υ | (150*100) mm |
| Γραμμικές κλίμακες X/Y | Ανάλυση: 0,5 μm |
| Κωδικός# | 512-350 |
|---|---|
| Μέγεθος του σταδίου εργασίας | 355x126 χιλιοστά |
| Ταξίδια για το στάδιο εργασίας | 200x100mm |
| Επικεντρώσου | 90 χιλιοστά |
| Ακριβότητα | ≤3+L/200 (um) |
