| Κώδικας# | 525-020EP |
|---|---|
| Γρανίτη | (390*220) mm |
| Στάδιο γυαλιού | (229.5*129.5) mm |
| X/Y Axis Travel | (200*100) mm |
| Γραμμικές κλίμακες | Ανάλυση: 0.5um |
| Κώδικας# | 529-120G |
|---|---|
| Ταξιδεύσεις στον άξονα X/Y | (300*200) mm |
| Ταξίδι στον άξονα Ζ | 200 χλστ |
| Χ/Υ/Ζ 3 άξονας γραμμική κλίμακα ((mm) | Ανάλυση: 0.5um |
| Ακριβότητα στον άξονα XY | ≤2,5+L/200 (μμ) |
| Κώδικας# | 502-120G |
|---|---|
| Ταξιδεύσεις στον άξονα X/Y | (300*200) mm |
| Διάσταση(ΠxΒxΥ) | (1237*740*1664) χιλιοστά |
| Βάρος | 380 κιλά |
| Ταξίδι στον άξονα Ζ | 200 χλστ |