| Code# | 525-020EP |
|---|---|
| Granite Stage | (390*220)mm |
| Glass Stage | (229.5*129.5)mm |
| X/Y Axis Travel | (200*100)mm |
| Linear Scales | Resolution: 0.5um |
| Κωδικός# | 502-120G |
|---|---|
| Ταξιδεύσεις στον άξονα X/Y | (300*200) mm |
| Διάσταση (WxDxH) | (1237*740*1664) χιλιοστά |
| Βάρος | 380 κιλά |
| Ταξίδι στον άξονα Ζ | 200 χιλιοστά |
| Κωδικός# | 529-120G |
|---|---|
| Ταξιδεύσεις στον άξονα X/Y | (300*200) mm |
| Ταξίδι στον άξονα Ζ | 200 χιλιοστά |
| Χ/Υ/Ζ 3 άξονας γραμμική κλίμακα ((mm) | Ανάλυση: 0,5 μm |
| Ακριβότητα στον άξονα XY | ≤2,5+L/200 (μμ) |