| Κώδικας# | 525-020EP |
|---|---|
| Γρανίτη | (390*220) mm |
| Στάδιο γυαλιού | (229.5*129.5) mm |
| X/Y Axis Travel | (200*100) mm |
| Γραμμικές κλίμακες | Ανάλυση: 0.5um |
| Κώδικας# | 525-020gp |
|---|---|
| Γρανίτη | (505*350) mm |
| Στάδιο γυαλιού | (356*248) mm |
| X/Y Axis Travel | (300*200) mm |
| Γραμμικές κλίμακες | Ανάλυση: 0.5um |
| Κώδικας# | 525-020DP |
|---|---|
| Γρανίτη | (310*220) mm |
| Στάδιο γυαλιού | (179.5*129.5) mm |
| X/Y Axis Travel | (150*100) mm |
| Γραμμικές κλίμακες | Ανάλυση: 0.5um |