| Κωδικός# | 525-020P |
|---|---|
| Στάδιο από γρανίτη | (310*220) mm |
| Στάδιο γυαλιού | (179,5*129,5) χιλιοστά |
| Διαδρομή άξονα Χ/Υ | (150*100) mm |
| Γραμμικές κλίμακες X/Y | Ανάλυση: 0,5 μm |
| Code# | 542-310 |
|---|---|
| Working Stage Travel | 355x125mm |
| X/Y-axis Travel | 200x120mm |
| Z axis | 110mm |
| Measurement Accuracy | ≤3+L/200um |
| Κωδικός# | 542-310 |
|---|---|
| Ταξίδια για το στάδιο εργασίας | 355x125 χιλιοστά |
| X/Y-άξονας ταξίδι | 200x120 χιλιοστά |
| Άξονας Z | 110 χιλιοστά |
| Ακριβότητα μέτρησης | ≤3+L/200um |
| Κωδικός# | 525-380K |
|---|---|
| Ταξιδεύσεις στον άξονα X/Y | (500*500) χιλιοστά |
| Ταξίδι στον άξονα Ζ | 300 χιλιοστά |
| Σκηνογραφία γραμμικής κλίμακας άξονας X/Y/Z | Ανάλυση: 0,1 μm |
| Τρόπος καθοδήγησης | Σιδηροτροχιά γραμμικής καθοδήγησης ακριβείας |
| Code# | 542-310 |
|---|---|
| Working Stage Travel | 355x125mm |
| X/Y-axis Travel | 200x120mm |
| Z axis | 110mm |
| Measurement Accuracy | ≤3+L/200um |
| Κωδικός# | 524-220H |
|---|---|
| Ταξιδεύσεις στον άξονα X/Y | (400*300)mm |
| Ταξίδι στον άξονα Ζ | 200 χιλιοστά |
| Χ/Υ/Ζ 3 άξονας γραμμική κλίμακα ((mm) | Ανάλυση: 0,5 μm |
| Επαναληψιμότητα | 2um |
| Κωδικός# | 524-220H |
|---|---|
| Ταξιδεύσεις στον άξονα X/Y | (400*300)mm |
| Ταξίδι στον άξονα Ζ | 200 χιλιοστά |
| Χ/Υ/Ζ 3 άξονας γραμμική κλίμακα ((mm) | Ανάλυση: 0,5 μm |
| Επαναληψιμότητα | 2um |
| Κωδικός# | 529-120J |
|---|---|
| Ταξιδεύσεις στον άξονα X/Y | (500*400) χιλιοστά |
| Ταξίδι στον άξονα Ζ | 200 χιλιοστά |
| Χ/Υ/Ζ 3 άξονας γραμμική κλίμακα ((mm) | Ανάλυση: 0,5 μm |
| Ακριβότητα στον άξονα XY | ≤ 3,0+L/200 (μμ) |
| Κωδικός# | 529-120H |
|---|---|
| Ταξιδεύσεις στον άξονα X/Y | (400*300)mm |
| Ταξίδι στον άξονα Ζ | 200 χιλιοστά |
| Χ/Υ/Ζ 3 άξονας γραμμική κλίμακα ((mm) | Ανάλυση: 0,5 μm |
| Ακριβότητα στον άξονα XY | ≤ 3,0+L/200 (μμ) |
| Κωδικός# | 529-120G |
|---|---|
| Ταξιδεύσεις στον άξονα X/Y | (300*200) mm |
| Ταξίδι στον άξονα Ζ | 200 χιλιοστά |
| Χ/Υ/Ζ 3 άξονας γραμμική κλίμακα ((mm) | Ανάλυση: 0,5 μm |
| Ακριβότητα στον άξονα XY | ≤2,5+L/200 (μμ) |