| Κώδικας# | 523-280K |
|---|---|
| Ταξιδεύσεις στον άξονα X/Y | (600*500) mm |
| Ταξίδι στον άξονα Ζ | 200 χλστ |
| Σκηνογραφία γραμμικής κλίμακας άξονας X/Y/Z | Ανάλυση: 0,1 μm |
| Ακριβότητα στον άξονα XY | ≤1,8+L/200 (μμ) |
| Κώδικας# | 525-380K |
|---|---|
| Ταξιδεύσεις στον άξονα X/Y | (500*500) χιλιοστά |
| Ταξίδι στον άξονα Ζ | 300mm |
| Σκηνογραφία γραμμικής κλίμακας άξονας X/Y/Z | Ανάλυση: 0,1 μm |
| Τρόπος καθοδήγησης | Σιδηροτροχιά γραμμικής καθοδήγησης ακριβείας |
| Κώδικας# | 523-280N |
|---|---|
| Ταξιδεύσεις στον άξονα X/Y | (1200*1000) mm |
| Ταξίδι στον άξονα Ζ | 200 χλστ |
| Σκηνογραφία γραμμικής κλίμακας άξονας X/Y/Z | Ανάλυση: 0,1 μm |
| Ακριβότητα στον άξονα XY | ≤2,5+L/200 (μμ) |
| Κώδικας# | 524-220H |
|---|---|
| Ταξιδεύσεις στον άξονα X/Y | (400*300)mm |
| Ταξίδι στον άξονα Ζ | 200 χλστ |
| Χ/Υ/Ζ 3 άξονας γραμμική κλίμακα ((mm) | Ανάλυση: 0.5um |
| Επαναληψιμότητα | 2um |
| Κώδικας# | 529-120J |
|---|---|
| Ταξιδεύσεις στον άξονα X/Y | (500*400) χιλιοστά |
| Ταξίδι στον άξονα Ζ | 200 χλστ |
| Χ/Υ/Ζ 3 άξονας γραμμική κλίμακα ((mm) | Ανάλυση: 0.5um |
| Ακριβότητα στον άξονα XY | ≤ 3,0+L/200 (μμ) |
| Κώδικας# | 529-120H |
|---|---|
| Ταξιδεύσεις στον άξονα X/Y | (400*300)mm |
| Ταξίδι στον άξονα Ζ | 200 χλστ |
| Χ/Υ/Ζ 3 άξονας γραμμική κλίμακα ((mm) | Ανάλυση: 0.5um |
| Ακριβότητα στον άξονα XY | ≤ 3,0+L/200 (μμ) |
| Κώδικας# | 529-120G |
|---|---|
| Ταξιδεύσεις στον άξονα X/Y | (300*200) mm |
| Ταξίδι στον άξονα Ζ | 200 χλστ |
| Χ/Υ/Ζ 3 άξονας γραμμική κλίμακα ((mm) | Ανάλυση: 0.5um |
| Ακριβότητα στον άξονα XY | ≤2,5+L/200 (μμ) |
| Κώδικας# | 500-030 |
|---|---|
| Φακός | 0.3X Διπλός τηλεκεντρικός φακός |
| Απόσταση εργασίας | 110 mm |
| Ευρύ πεδίο | Ø 30mm ((28x24) |
| Ακρίβεια μέτρησης | ±2um |
| Κώδικας# | Το AutoVicky ZHV-WH0503 |
|---|---|
| Στόχος | 10×, 40× |
| Είσοδος δεδομένων | αυτόματο |
| Πύργος | αυτόματο |
| Μέγιστη. Ύψος Δείγματος | 170 χλστ |
| Κώδικας# | 525-020DP |
|---|---|
| Γρανίτη | (310*220) mm |
| Στάδιο γυαλιού | (179.5*129.5) mm |
| X/Y Axis Travel | (150*100) mm |
| Γραμμικές κλίμακες | Ανάλυση: 0.5um |