| Κώδικας# | 525-020P |
|---|---|
| Γρανίτη | (310*220) mm |
| Στάδιο γυαλιού | (179.5*129.5) mm |
| X/Y Axis Travel | (150*100) mm |
| Γραμμικές κλίμακες X/Y | Ανάλυση: 0.5um |
| Κώδικας# | 525-020EP |
|---|---|
| Γρανίτη | (390*220) mm |
| Στάδιο γυαλιού | (229.5*129.5) mm |
| X/Y Axis Travel | (200*100) mm |
| Γραμμικές κλίμακες | Ανάλυση: 0.5um |
| Κώδικας# | 511-420 |
|---|---|
| Μέγεθος μεταλλικής σκηνής | 308x408 χιλιοστά |
| Μέγεθος Γυάλινης Σκηνής | 198x306 χιλιοστά |
| Πεδίο ταξιδιού σταδίου | 250×150 χιλιοστά |
| Διάσταση προϊόντος | 1003x617x1309 χιλιοστά |
| Κώδικας# | 823-170-2005 |
|---|---|
| σύστημα φόρτωσης | αυτόματο |
| Μηχανοκίνητο X-Y Stage | Μίνι κινητήρας βήματος με μέγεθος L:180*W:140mm |
| Χρονοδιαστολή σταδίου X-Y | 50x50mm |
| Ελάχιστο βήμα | 0.625um |
| Κώδικας# | 542-310 |
|---|---|
| Ταξίδια σταδίου εργασίας | 355x125mm |
| X/Y άξονα ταξίδια | 200x120mm |
| Άξονας Z | 110 χλστ |
| Ακρίβεια μέτρησης | ≤3+l/200um |
| Κώδικας# | 823-170-1010 |
|---|---|
| Μέθοδος αριθμητικής εισαγωγής | αυτο |
| Εναλλακτικός φακός και ενσωματωτής | Αυτοκίνητος Πύργος |
| Χρόνος διαμονής | 1~60 ρυθμιζόμενο |
| Έλεγχος φόρτωσης | αυτόματο |
| Κώδικας# | 821-170-1005 |
|---|---|
| Στόχος | 10×, 40× |
| Είσοδος δεδομένων | αυτόματο |
| Πύργος | αυτόματο |
| Μέγιστη. Ύψος Δείγματος | 170 χλστ |
| Κώδικας# | Το AutoVicky ZHV-WH5010 |
|---|---|
| Στόχος | 10 ×, 20 × |
| Είσοδος δεδομένων | αυτόματο |
| Πύργος | αυτόματο |
| Μέγιστη. Ύψος Δείγματος | 170 χλστ |
| Κώδικας# | 525-020gp |
|---|---|
| Γρανίτη | (505*350) mm |
| Στάδιο γυαλιού | (356*248) mm |
| X/Y Axis Travel | (300*200) mm |
| Γραμμικές κλίμακες | Ανάλυση: 0.5um |