| Κωδικός# | 521-320J |
|---|---|
| Εργατικό πάγκο μαρμάρου | (650*580) mm |
| Εργατικό πάγκο γυαλιού | (540*440) χιλιοστά |
| Ταξιδεύσεις στον άξονα X/Y | (500*400) χιλιοστά |
| Ταξίδι στον άξονα Ζ | Αποτελεσματική διαδρομή 200 mm |
| Κωδικός# | 522-120G |
|---|---|
| Ταξιδεύσεις στον άξονα X/Y | (300*200) mm |
| Ταξίδι στον άξονα Ζ | 200 χιλιοστά |
| Σκηνογραφία γραμμικής κλίμακας άξονας X/Y/Z | 0.5um |
| Ακριβότητα στον άξονα XY | ≤ 2,0+L/200 (μμ) |