| Vimea322A | 524-220G |
|---|---|
| Ταξιδεύσεις στον άξονα X/Y | (300*200) mm |
| Ταξίδι στον άξονα Ζ | 200 χιλιοστά |
| Χ/Υ/Ζ 3 άξονας γραμμική κλίμακα ((mm) | Ανάλυση: 0,5 μm |
| Επαναληψιμότητα | 2um |
| Code# | 525-020DP |
|---|---|
| Granite Stage | (310*220) mm |
| Glass Stage | (179.5*129.5) mm |
| X/Y Axis Travel | (150*100) mm |
| Linear Scales | Resolution: 0.5um |
| Κωδικός# | 525-020P |
|---|---|
| Στάδιο από γρανίτη | (310*220) mm |
| Στάδιο γυαλιού | (179,5*129,5) χιλιοστά |
| Διαδρομή άξονα Χ/Υ | (150*100) mm |
| Γραμμικές κλίμακες X/Y | Ανάλυση: 0,5 μm |
| Κωδικός# | 522-180Χ |
|---|---|
| Ταξιδεύσεις στον άξονα X/Y | (400*300)mm |
| Ταξίδι στον άξονα Ζ | 200 χιλιοστά |
| Σκηνογραφία γραμμικής κλίμακας άξονας X/Y/Z | 0.1um |
| Ακριβότητα στον άξονα XY | ≤1,8+L/200 (μμ) |
| Κωδικός# | 522-180J |
|---|---|
| Ταξιδεύσεις στον άξονα X/Y | (500*400) χιλιοστά |
| Ταξίδι στον άξονα Ζ | 200 χιλιοστά |
| Σκηνογραφία γραμμικής κλίμακας άξονας X/Y/Z | 0.1um |
| Ακριβότητα στον άξονα XY | ≤1,8+L/200 (μμ) |
| Κωδικός# | 522-280G |
|---|---|
| Ταξιδεύσεις στον άξονα X/Y | (300*200) mm |
| Ταξίδι στον άξονα Ζ | 200 χιλιοστά |
| Σκηνογραφία γραμμικής κλίμακας άξονας X/Y/Z | 0.1um |
| Ακριβότητα στον άξονα XY | ≤1,8+L/200 (μμ) |
| Κωδικός# | 500-030 |
|---|---|
| Δακτυλίδια | 0.3X Διπλός τηλεκεντρικός φακός |
| Απόσταση εργασίας | 110 χιλ. |
| Ευρύ πεδίο | Ø 30mm ((28x24) |
| Ακριβότητα μέτρησης | ±2um |
| Κωδικός# | 523-280K |
|---|---|
| Ταξιδεύσεις στον άξονα X/Y | (600*500) mm |
| Ταξίδι στον άξονα Ζ | 200 χιλιοστά |
| Σκηνογραφία γραμμικής κλίμακας άξονας X/Y/Z | Ανάλυση: 0,1 μm |
| Ακριβότητα στον άξονα XY | ≤1,8+L/200 (μμ) |
| Κωδικός# | 523-180M |
|---|---|
| Ταξιδεύσεις στον άξονα X/Y | (1500*1200) mm |
| Ταξίδι στον άξονα Ζ | 200 χιλιοστά |
| Σκηνογραφία γραμμικής κλίμακας άξονας X/Y/Z | Ανάλυση: 0,1 μm |
| Ακριβότητα στον άξονα XY | ≤ 3,0+L/200 (μμ) |
| Κωδικός# | 528-180Χ |
|---|---|
| Ταξιδεύσεις στον άξονα X/Y | (300*400) mm |
| Ταξίδι στον άξονα Ζ | 200 χιλιοστά |
| Σκηνογραφία γραμμικής κλίμακας άξονας X/Y/Z | Ανάλυση: 0.1mm |
| Ακριβότητα στον άξονα XY | ≤1,2+L/200 (μμ) |