| Κωδικός# | 525-380K |
|---|---|
| Ταξιδεύσεις στον άξονα X/Y | (500*500) χιλιοστά |
| Ταξίδι στον άξονα Ζ | 300 χιλιοστά |
| Σκηνογραφία γραμμικής κλίμακας άξονας X/Y/Z | Ανάλυση: 0,1 μm |
| Τρόπος καθοδήγησης | Σιδηροτροχιά γραμμικής καθοδήγησης ακριβείας |
| Κωδικός# | 523-280N |
|---|---|
| Ταξιδεύσεις στον άξονα X/Y | (1200*1000) mm |
| Ταξίδι στον άξονα Ζ | 200 χιλιοστά |
| Σκηνογραφία γραμμικής κλίμακας άξονας X/Y/Z | Ανάλυση: 0,1 μm |
| Ακριβότητα στον άξονα XY | ≤2,5+L/200 (μμ) |
| Κωδικός# | 524-220H |
|---|---|
| Ταξιδεύσεις στον άξονα X/Y | (400*300)mm |
| Ταξίδι στον άξονα Ζ | 200 χιλιοστά |
| Χ/Υ/Ζ 3 άξονας γραμμική κλίμακα ((mm) | Ανάλυση: 0,5 μm |
| Επαναληψιμότητα | 2um |
| Κωδικός# | 524-220H |
|---|---|
| Ταξιδεύσεις στον άξονα X/Y | (400*300)mm |
| Ταξίδι στον άξονα Ζ | 200 χιλιοστά |
| Χ/Υ/Ζ 3 άξονας γραμμική κλίμακα ((mm) | Ανάλυση: 0,5 μm |
| Επαναληψιμότητα | 2um |
| Κωδικός# | 500-030 |
|---|---|
| Δακτυλίδια | 0.3X Διπλός τηλεκεντρικός φακός |
| Απόσταση εργασίας | 110 χιλ. |
| Ευρύ πεδίο | Ø 30mm ((28x24) |
| Ακριβότητα μέτρησης | ±2um |
| Κωδικός# | Το AutoVicky ZHV-WH0503 |
|---|---|
| Στόχος | 10×, 40× |
| εισαγωγή στοιχείων | Αυτοματοποιημένο |
| Πύργος | Αυτοματοποιημένο |
| Μέγιστη. Ύψος Δείγματος | 170 χιλιοστά |
| Κωδικός# | 525-020P |
|---|---|
| Στάδιο από γρανίτη | (310*220) mm |
| Στάδιο γυαλιού | (179,5*129,5) χιλιοστά |
| Διαδρομή άξονα Χ/Υ | (150*100) mm |
| Γραμμικές κλίμακες X/Y | Ανάλυση: 0,5 μm |
| Κωδικός# | 525-020P |
|---|---|
| Στάδιο από γρανίτη | (310*220) mm |
| Στάδιο γυαλιού | (179,5*129,5) χιλιοστά |
| Διαδρομή άξονα Χ/Υ | (150*100) mm |
| Γραμμικές κλίμακες X/Y | Ανάλυση: 0,5 μm |
| Κωδικός# | 511-420 |
|---|---|
| Μέγεθος μεταλλικής σκηνής | 308x408 χιλιοστά |
| Μέγεθος Γυάλινης Σκηνής | 198x306 χιλιοστά |
| Πεδίο ταξιδιού σταδίου | 250×150 χιλιοστά |
| Διάσταση προϊόντος | 1003x617x1309 χιλιοστά |
| Κωδικός# | 823-170-2005 |
|---|---|
| σύστημα φόρτωσης | Αυτοματοποιημένο |
| Μηχανοκίνητο X-Y Stage | Μίνι κινητήρας βήματος με μέγεθος L:180*W:140mm |
| Χρονοδιαστολή σταδίου X-Y | 50x50mm |
| Ελάχιστο βήμα | 0.625um |
